梁景生

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供职机构:五邑大学更多>>
发文主题:大功率EBLOLED单片机控制系统微结构更多>>
发文领域:电子电信更多>>
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所获基金:中国博士后科学基金江门市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
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紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
《微纳电子技术》2013年第11期721-725,734,共6页李阳 徐维 王忆 陈奎 朱铭佳 潘雅雯 梁景生 
中国博士后基金资助项目(2013M540744);广东省自然科学基金资助项目(S2011040005742;10452902001005900);广东省科技创新项目(2012KJCX0100);江门市科技计划资助项目(2011010049758)
采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度。而有效实施纳米压印工艺的先决条件是纳米压印模板的制备。首先在沉积有金属Cr薄膜阻挡层(厚度为20 nm)的石英基...
关键词:有机发光二极管(OLED) 紫外纳米压印 电子束光刻(EBL) 模板 微结构 
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