紫外纳米压印

作品数：19被引量：24H指数：3
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：谷岩林洁琼陈斯韩小龙卢明明更多>>
相关机构：中国科学院长春工业大学上海交通大学北京化工大学更多>>
相关期刊：《光子学报》《电子工业专用设备》《微纳电子技术》《机械科学与技术》更多>>
相关基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金中国博士后科学基金江门市科技计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
凸面锗窗口亚波长抗反射结构的设计与制备被引量：1
《激光与光电子学进展》2023年第5期222-227,共6页陈佛奎 丁江 余明 马翠 林慧 
国家自然科学基金(U1713210);深圳基础研究计划(JCYJ20170818163928953)。
红外光学成像系统的灵敏度与光学窗口透射率密切相关,锗窗口是红外光学系统的常用窗口,在锗窗口上制备亚波长结构可以增强抗反射性能从而提高透射率,且常选择凸面窗口以获得更大的视场角。针对在曲面窗口上亚波长结构的制备工艺较为复...
关键词：光学设计 微结构制造 亚波长结构 柔性紫外纳米压印 抗反射 
纳米压印技术的发展及其近期的应用研究被引量：5
《传感器与微系统》2022年第5期1-5,共5页张笛 张琰 孔路瑶 程秀兰 
科技部重点专项项目(2016YFB0200205)。
综述了热纳米压印、紫外纳米压印、微接触印刷三种具有代表性的纳米压印(NIL)技术的原理、工艺流程和优缺点,并介绍了近几年来纳米压印技术的研究进展及其在光学器件、存储器、柔性器件和生物传感器等领域中的应用现状。
关键词：热纳米压印 紫外纳米压印 微接触印刷 光学器件 存储器 柔性器件 生物传感器 
纳米压印技术在制造领域的应用被引量：2
《印制电路信息》2020年第12期51-56,共6页姚志军 
微纳米加工技术作为一种典型的先进制造技术,其制造精度可达到纳米级别,在小型甚至微型元器件、微型芯片及生物传感器的制造、批量化生产中具有不可取代的作用。纳米压印技术作为新型的光刻技术,具有成本低、分辨率高、效率高、制造流...
关键词：微纳米加工技术 纳米热压印 紫外纳米压印 纳米电极光刻 
基于多苯烯丙基醚无氟抗粘的巯基-烯纳米压印光刻胶
《微纳电子技术》2018年第6期401-407,共7页李桃 廖兵 韦代东 汪慧怡 雍奇文 罗业燊 庞浩 
广东省科学院实施创新驱动发展能力建设专项(2017GDASCX-0705)
为了减小纳米压印光刻胶与模板间的接触黏附力，合成了一种无氟抗粘巯基一烯纳米压印光刻胶。以A，A，A’-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-异丙苯（TPA）和溴丙烯为原料，采用相转移催化法制备了一种功能性单体A，A，A’-三（4-丙烯基苯基醚）...
关键词：紫外纳米压印 光刻胶 巯基-烯反应 无氟抗粘 脱模 
6产品名称：紫外纳米压印光刻机URE-2000／35NI
《电子工业专用设备》2016年第2期44-45,共2页
研制单位： 中国科学院光电技术研究所 产品介绍： URE-2000／35NI紫外纳米压印光刻机是中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队近年来在微纳制作设备领域里的又一力作。该设备兼具传统接近接触式光刻以及高分辨力压印两大...
关键词：纳米压印 光刻机 产品名称 紫外 中国科学院 电子专用设备 光电技术 制作设备 
紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
《微纳电子技术》2013年第11期721-725,734,共6页李阳 徐维 王忆 陈奎 朱铭佳 潘雅雯 梁景生 
中国博士后基金资助项目(2013M540744);广东省自然科学基金资助项目(S2011040005742;10452902001005900);广东省科技创新项目(2012KJCX0100);江门市科技计划资助项目(2011010049758)
采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度。而有效实施纳米压印工艺的先决条件是纳米压印模板的制备。首先在沉积有金属Cr薄膜阻挡层(厚度为20 nm)的石英基...
关键词：有机发光二极管(OLED) 紫外纳米压印 电子束光刻(EBL) 模板 微结构 
紫外纳米压印OLED衬底微结构的制备技术被引量：1
《微纳电子技术》2013年第7期462-465,469,共5页李阳 徐维 王忆 
广东省自然科学基金资助项目(S2011040005742;10452902001005900);广东省科技创新项目(2012KJCX0100);中国博士后基金资助项目(20090461297);江门市科技计划项目(2011010049758)
在有机发光二极管(OLED)器件衬底上制备可传递三维立体微结构可有效消除波导、增加出光耦合,从而增加器件出光效率。纳米压印技术是制备立体微结构的主要方法之一。采用紫外纳米压印技术在OLED衬底上制备三维立体微结构。首先采用电子...
关键词：有机发光二极管(OLED) 衬底 微结构 模板 紫外纳米压印 
反应离子刻蚀法制备石英纳米压印模板的工艺研究被引量：3
《机械科学与技术》2012年第11期1786-1789,共4页张少峰 刘正堂 李阳平 陈海波 徐启远 
航空科学基金项目(2008ZE53043)资助
为了使用紫外纳米压印法制备出亚波长结构,研究了在石英衬底上采用光刻和反应离子刻蚀技术制备出紫外纳米压印模板,以及模板制备过程中工艺参数对光刻胶和刻蚀速率的影响。利用激光共聚焦显微镜(LSCM)及原子力显微镜(AFM)对光刻和刻蚀...
关键词：光刻 反应离子刻蚀 刻蚀速率 亚波长结构 紫外纳米压印 
新型含硅丙烯酸酯型纳米压印胶的研究与应用被引量：1
《微纳电子技术》2012年第9期630-636,共7页董会杰 辛忠 陆馨 吕宇皓 王磊 
上海市科委纳米技术专项资助课题(0652nm001)
纳米压印技术因其成本低、产量高的优点广受关注,而开发可适用于纳米压印的压印胶成为该工艺的关键。合成了一种硅含量高的单体三(三甲基硅氧基)甲基丙烯酰氧丙基硅烷(TRIS),制备了一种新型紫外纳米压印用含硅丙烯酸酯型压印胶,用四点...
关键词：紫外纳米压印 压印胶 含硅丙烯酸酯 抗黏附 表面能 
含氟紫外纳米压印光刻胶的研制被引量：5
《微纳电子技术》2012年第7期471-477,共7页赵彬 周伟民 张静 刘彦伯 王金合 张燕萍 施利毅 张剑平 
上海市科委纳米专项基金资助项目(1052nm07500)
从主体树脂性质、光引发剂的选择、助剂的选择、溶剂的设计等多个方面论述了含氟纳米压印光刻胶的研制工艺。在纯有机材料为主体的光刻胶中引入了全氟丙烯酸酯助剂,解释了含氟助剂在光刻胶中的作用。使用接触角法评估了全氟丙烯酸酯对...
关键词：紫外纳米压印 光刻胶 含氟助剂 接触角 脱模 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部