熊志刚

作品数：2被引量：12H指数：2
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：光子晶体聚焦离子束半导体材料出光效率光学特性更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体被引量：8
《物理学报》2007年第2期916-921,共6页许兴胜 熊志刚 金爱子 陈弘达 张道中 
国家自然科学基金(批准号:60345008;60377011;60537010)资助的课题~~
介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制...
关键词：聚焦离子束 半导体材料 光子晶体 
半导体量子阱材料微加工光子晶体的光学特性被引量：4
《物理学报》2006年第3期1248-1252,共5页许兴胜 熊志刚 孙增辉 杜伟 鲁琳 陈弘达 金爱子 张道中 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2001CB610402);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA311020);国家自然科学基金(批准号:60345008;60377011)资助的课题.~~
利用聚焦离子束刻蚀方法和电子束制版结合干法刻蚀方法制备了二维近红外波段光子晶体,发现两种方法都可以制备出均匀的二维光子晶体,聚焦离子束方法操作简单,电子束制版结合干法刻蚀方法操作步骤复杂.光谱测试表明,利用聚焦离子束方法...
关键词：聚焦离子束 电子束制版 光子晶体 出光效率 
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