石瑛

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供职机构：中国科学院上海原子核研究所更多>>
发文主题：团簇成膜附着性飞行时间质谱仪物理设计更多>>
发文领域：核科学技术理学更多>>
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荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究
《核技术》2001年第2期81-84,共4页俞国庆 石瑛 欧阳振乾 陈景升 张志滨 朱德彰 潘浩昌 徐洪杰 
国家自然科学基金!(19675062);中国科学院基础研究局资助
研究了不同能量的团簇碰撞有机物（ＣＨ３ＳｉＯ３／２）衬底形成的表面形貌。结果表明，团簇能量的增大，增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力，也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现...
关键词：原子力显微镜 迁移性 附着性 有机硅化合物 荷能团簇束成膜 
荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计
《核技术》1999年第12期717-719,共3页俞国庆 石瑛 陈景升 朱德彰 潘浩昌 徐洪杰 
介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨，并提出了解决的措施。
关键词：飞行时间质谱仪 荷能团簇 碰撞沉积 物理设计 
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