俞国庆

作品数：9被引量：16H指数：2
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供职机构：中国科学院上海原子核研究所更多>>
发文主题：石墨碳氩离子团簇富勒烯更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术核科学技术更多>>
发文期刊：《核技术》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院重点实验室基金更多>>
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团簇沉积C-N薄膜的研究被引量：1
《核技术》2001年第6期433-438,共6页陈景升 俞国庆 张志滨 潘浩昌 朱德彰 徐洪杰 郑志豪 阎逢元 
国家自然科学基金! (19735 0 0 4);(196 75 0 6 2 )
利用荷能团簇沉积装置在高阻硅 ( 111)衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。结果表明 ,薄膜中存在N -sp3C( β -C3N4 的键合方式 ) ,但以N -sp2 C和C =C双键的结合方式为主。
关键词：团族沉积 碳氮薄膜 结构 制备 表征 硅基底 硬度 光谱 
荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究
《核技术》2001年第2期81-84,共4页俞国庆 石瑛 欧阳振乾 陈景升 张志滨 朱德彰 潘浩昌 徐洪杰 
国家自然科学基金!(19675062);中国科学院基础研究局资助
研究了不同能量的团簇碰撞有机物（ＣＨ３ＳｉＯ３／２）衬底形成的表面形貌。结果表明，团簇能量的增大，增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力，也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现...
关键词：原子力显微镜 迁移性 附着性 有机硅化合物 荷能团簇束成膜 
碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响被引量：1
《核技术》2000年第9期593-598,共6页陈景升 俞国庆 潘浩昌 朱德彰 徐洪杰 郑志豪 阎逢元 
国家自然科学基金!(19735004);中国科学院基金!(KT952-J1-414)
在室温下，以硅（１００）为衬底，在不同的衬底偏压（即团簇不同碰撞能量）的条件下，用荷能团簇碰撞沉积方法制备了ＴｉＮ薄膜。用原子力显微镜和Ｘ射线衍射等技术对ＴｉＮ薄膜的表面形貌和结构进行了研究，并且在维式硬度计和ＳＲＶ...
关键词：荷能团族 结构 形貌 摩擦学性能 TIN薄膜 ECI 
Ar^+离子束轰击在石墨表面形成六方金刚石纳米晶的研究被引量：4
《物理学报》2000年第8期1524-1527,共4页王震遐 俞国庆 阮美龄 朱福英 朱德彰 潘浩昌 徐洪杰 
国家自然科学基金重点项目!(批准号:19735004);中国科学院重点项目!(批准号:KJ952J1414)资助的课题
在 0 .6keVAr+高剂量 (～ 10 2 2 /cm2 )辐照石墨表面 ,借助于高分辨透射电子显微镜 (HRTEM ) ,发现有六方金刚石纳米晶产生 .它们的平均直径介于 1— 5 0nm之间 ,而且晶粒个数约随其直径的增大而直线减少 .有趣的是 ,晶粒具有两种结构...
关键词：离子轰击 六方金刚石纳米晶 氩离子 石墨 表面 
荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计
《核技术》1999年第12期717-719,共3页俞国庆 石瑛 陈景升 朱德彰 潘浩昌 徐洪杰 
介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨，并提出了解决的措施。
关键词：飞行时间质谱仪 荷能团簇 碰撞沉积 物理设计 
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