胡代群

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发文主题：离子注入机单晶片大角度离子注入机差分性能分析更多>>
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单晶片离子注入机垂直扫描机构差分密封的设计
《真空电子技术》2007年第2期38-40,44,共4页胡代群 刘求益 
对垂直扫描机构差分式密封进行了设计和计算。差分式密封是非接触动密封,垂直扫描机构中,轴和轴套之间有微小的间隙,轴套上有两级差分抽气室,通过微小的间隙和两级差分抽气室,密封气体被两级真空泵抽出。这种密封能实现无摩擦、性能好...
关键词：离子注入机 扫描机构 差分密封 
单晶片离子注入机垂直扫描机构的差分密封设计
《机械工程师》2007年第2期91-93,共3页胡代群 刘求益 
垂直扫描机构是单晶片离子注入机靶盘的支撑部件,起着将高速直线运动从靶室外传递到靶盘的作用。文中针对垂直扫描机构进行了差分密封的设计和计算,结果显示,此垂直扫描机构具有无摩擦、漏气率小的特点,因此它能满足晶片处理过程中对靶...
关键词：离子注入机 垂直扫描机构 差分密封 真空 
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