黄寅虎

作品数：2被引量：2H指数：1
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Micro-OLED显示斜纹Mura的研究及改善
《科技创新与应用》2024年第26期96-99,104,共5页杨宗顺 李世鹏 苏冬冬 李云龙 杨盛际 黄寅虎 单庆山 何云川 陶雄 
硅基微显示(Micro-OLED)工艺中,在进行驱动线路制备时,需进行化学机械研磨(CMP)处理,保证金属互联层的稳定性及均一性。不同材料对CMP工艺的耐受性存在差别,切割道或净空区通常为介电材料层(SiO、SiNx等绝缘层),较金属膜层区域更易受CM...
关键词：微显示 涂覆 关键尺寸 不均一 化学机械研磨 
氧化物薄膜晶体管刻蚀阻挡层PECVD沉积条件研究被引量：2
《液晶与显示》2019年第1期7-13,共7页万云海 邹志翔 林亮 杨成绍 黄寅虎 王章涛 
为实现氧化物TFT(Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film Transistor,IGZO TFT)特性的最优化,采用I-V数据和SEM(Scanning Electron Microscope)图片研究蚀阻挡层(Etch-Stop Layer,ESL)沉积条件与氧化物TFT特性的关系。通过调整沉积温度...
关键词：氧化物半导体 薄膜晶体管液晶显示器 等离子体增强化学气相沉积法 刻蚀阻挡层 
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