丁可

作品数：1被引量：11H指数：1
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：等离子体浸没离子注入数值模拟研究等离子体计算机模拟元胞更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
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等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究被引量：11
《真空科学与技术学报》2006年第4期303-307,共5页吴志玮 丁可 顾昌鑫 孙琦 单莉英 
国家自然科学基金资助项目(No.50301005)
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明...
关键词：等离子体浸没离子注入 二维元胞粒子模拟 平面靶 剂量分布 浓度深度分布 
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