余平

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：山东大学更多>>
发文主题：氢化物气相外延HVPE氮化镓尺寸测量钢筋更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信环境科学与工程文化科学更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
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基于蓝宝石衬底生长GaN的立式HVPE控制系统设计被引量：1
《微纳电子技术》2022年第5期458-464,共7页余平 孙文旭 修向前 马思乐 
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404201)。
为了实现氢化物气相外延(HVPE)技术在蓝宝石衬底上外延生长氮化镓(GaN)过程的全自动控制,进一步提高系统的精确性和稳定性,设计了一种新型HVPE控制系统。该控制系统选用可编程逻辑控制器(PLC)为控制器,采用组态王开发系统监控软件。利...
关键词：蓝宝石衬底 氢化物气相外延(HVPE) 氮化镓(GaN) 模糊控制 系统仿真 系统测试 
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