刘暐昌

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
发文主题:衬底温度P型ZNO薄膜英文ZNO薄膜更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《发光学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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在不同衬底温度下用直流反应磁控溅射法制备p型ZnO薄膜(英文)被引量:1
《发光学报》2008年第3期491-494,共4页简二梅 叶志镇 刘暐昌 何海平 顾修全 朱丽萍 赵炳辉 
国家"973"计划(2006CB604906);国家自然科学基金(50532060,90601003)资助项目~~
采用直流反应磁控溅射方法,通过改变衬底温度并优化生长参数,在玻璃衬底上生长了In-N共掺p型ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)测试表明,所得薄膜结晶性能良好,且具有很好的c轴择优取向。Hall测试的结果所得p型ZnO薄膜最低电阻率为35.6Ω·cm,霍...
关键词:P型导电 In-N共掺 直流反应磁控溅射法 ZNO薄膜 
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