彭玉田

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GaAs/GaAsAl阴极粘结X射线双晶衍射测量
《半导体光电》1998年第2期119-122,共4页阎金良 彭玉田 
兵科院"九五"预研资助
分析了GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中的应力对X射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用X射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中的阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，GaAs／GaAsAl阴极粘...
关键词：砷化镓阴极 玻璃 X射线双晶衍射 
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