成霁

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：场效应管石墨烯硅基底生物信号硅基更多>>
发文领域：电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
所获基金：国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划江苏省科技厅基金更多>>
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液栅型石墨烯场效应管的缓冲液浓度和pH响应特性
《电化学》2015年第2期167-171,共5页杜晓薇 成霁 郭慧 金庆辉 赵建龙 
国家科技支撑计划项目(No.2012BAK08B05);国家863计划项目(No.SS2014AA06A506);中科院国际合作项目(No.GJHZ-1306);江苏省科技项目(No.BE2012049)资助
本文使用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)石墨烯制作了高灵敏度、低噪声的液栅型石墨烯场效应管(Solution-Gated Graphene Field Effect Transistors,SGFETs),并测试了该器件对磷酸盐缓冲液(Phosphate Buffered Saline,PBS...
关键词：化学气相沉积石墨烯 液栅型石墨烯场效应管 缓冲液浓度和pH 
硅基石墨烯场效应管关键工艺研究被引量：1
《功能材料》2013年第B12期344-349,共6页张凤 方新心 成霁 唐逢杰 金庆辉 赵建龙 
中国科学院与德国亥姆霍兹联合会合作资助项目(GJHZ 1306)
石墨烯由于其独特的电学特性受到关注,工艺的研究促使石墨烯材料的实际应用。着重于石墨烯场效应管关键工艺(目标衬底的预处理、石墨烯的转移、金属沉积、石墨烯刻蚀与退火)的优化。通过实验发现,衬底上硅醇基的密度以及碳氢化合物分子...
关键词：石墨烯 溅射 热蒸发 石墨烯转移 等离子体刻蚀 
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