杨立文

作品数:2被引量:11H指数:2
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供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
发文主题:SIC单晶籽晶高热导率晶体生长过程热导率更多>>
发文领域:电子电信理学更多>>
发文期刊:《稀有金属》更多>>
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SiC单晶生长的热场模拟及其在籽晶固定方面的应用被引量:9
《稀有金属》2013年第1期76-81,共6页杨立文 李翠 蒋秉轩 杨志民 
热场模拟在物理气相输运法(PVT法)制备SiC单晶工艺的改进中起着重要的作用。实验中发现,SiC晶体生长表面可能会起伏不平,导致生长的晶体质量下降。经分析可知,籽晶固定过程中籽晶背面形成的气孔是造成晶体生长表面起伏不平的主要因素。...
关键词:物理气相输运法 SIC单晶 热场模拟 籽晶固定 
PVT法生长6H-SiC单晶中平面六方空洞缺陷研究被引量:2
《稀有金属》2012年第6期942-946,共5页李翠 杨立文 蒋秉轩 杨志民 
平面六方空洞是SiC晶体中一种典型的体缺陷,其存在严重影响了晶片的质量。因此,研究和去除平面六方空洞缺陷对提高晶片质量有重要意义。使用物理气相输运法(physical vapor transport,PVT)制备了4块6H-SiC单晶,使用光学显微镜观察了平...
关键词:PVT 6H-SiC单晶 平面六方空洞 背向分解 
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