沈飞荣

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
发文主题：CVD金刚石热沉沉积层金刚石涂层先驱体法更多>>
发文领域：化学工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《机械制造与自动化》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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小型精密CVD金刚石热沉片的制备研究
《机械制造与自动化》2012年第5期53-55,共3页沈飞荣 卢文壮 朱良杰 左敦稳 严欣 
国家自然科学基金资助项目(No.51075211);教育部博士点基金项目(No.20113218110018);南京航空航天大学基金资助项目(No.NP2011016)
CVD金刚石具有优异的导热性能,在微电子热沉应用方面有着广阔的应用前景。利用ICP工艺制造了硅模具,利用有限元对CVD系统中硅模具的温度场和流场进行了研究,在硅模具内制备了小型精密CVD金刚石热沉片。试验结果表明模具法能够获得表面...
关键词：CVD金刚石 热沉 硅模具 制备 
模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究被引量：4
《人工晶体学报》2012年第4期877-882,895,共7页薛海鹏 卢文壮 沈飞荣 孙达飞 王浩 左敦稳 
国家自然科学基金(51075211);教育部博士点基金项目(20113218110018);南京航空航天大学研究生创新基金资助(kfjj20110226)
本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著...
关键词：模具 CVD金刚石 热沉 温度场 流场 
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