孙达飞

作品数:5被引量:21H指数:3
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供职机构:南京航空航天大学机电学院更多>>
发文主题:BDD涂层电极CVD设备基材金刚石刀具更多>>
发文领域:化学工程理学金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊:《金刚石与磨料磨具工程》《中国激光》《人工晶体学报》更多>>
所获基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金江苏省高校优势学科建设工程资助项目更多>>
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纳米化学气相沉积金刚石的拉曼光谱被引量:9
《中国激光》2013年第7期136-141,共6页薛海鹏 卢文壮 孙达飞 王浩 王正鑫 左敦稳 
江苏省高校优势学科建设工程;国家自然科学基金(51075211;51275230);教育部博士点基金项目(20113218110018)
拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景;1140cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是...
关键词:激光技术 拉曼光谱 化学气相沉积金刚石 
后处理工艺对硼掺杂金刚石电极膜/基结合性能的影响被引量:3
《金刚石与磨料磨具工程》2013年第3期36-39,共4页赵鹏 左敦稳 周春 孙达飞 薛海鹏 卢文壮 
国家自然科学基金(51075211;51275230)资助;教育部博士点基金项目(20113218110018)
为改善硼掺杂金刚石(boron-doped diamond,简称BDD)涂层电极的膜/基结合性能,利用热丝气相沉积法(HFCVD法)制备了BDD涂层电极,研究了退火时间和退火温度对涂层电极上BDD膜的残余应力和膜/基结合性能的影响。采用XRD残余应力测试仪对BDD...
关键词:BDD涂层电极 后处理 残余应力 结合力 
制备双面大面积BDD电极的HFCVD设备流场仿真与结构设计被引量:2
《金刚石与磨料磨具工程》2013年第2期8-13,共6页孙达飞 卢文壮 薛海鹏 王浩 张林 左敦稳 
国家自然科学基金资助(51075211;51275230);教育部博士点基金项目(20113218110018);南京航空航天大学研究生创新基金资助(kfjj20110226)
用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备双面大面积掺硼金刚石(BDD)电极时,沉积系统的气体流场均匀性对薄膜质量均匀性有着重要影响。针对大面积BDD电极制备的设备流场问题,采用仿真分析,研究了相关结构与流场的关系。通过设计均匀分散的进出...
关键词:掺硼金刚石 热丝化学气相沉积设备 气体流场 
渗硼高速钢表面CVD金刚石膜制备研究被引量:3
《人工晶体学报》2013年第4期572-576,共5页王浩 卢文壮 薛海鹏 孙达飞 张林 左敦稳 
江苏省高校优势学科建设工程资助项目;国家自然科学基金(51075211;51275230);教育部博士点基金(20113218110018);南京航空航天大学研究生创新基金(kfjj20110226)
直接在高速钢表面生长CVD金刚石非常困难。为了克服高速钢中Fe元素对金刚石生长的不利影响,在高速钢表面利用渗硼技术先生成B、Fe的化合物的中间层然后再制备CVD金刚石膜。采用显微维氏硬度计、XRD衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光...
关键词:CVD金刚石膜 高速钢 渗硼 
模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究被引量:4
《人工晶体学报》2012年第4期877-882,895,共7页薛海鹏 卢文壮 沈飞荣 孙达飞 王浩 左敦稳 
国家自然科学基金(51075211);教育部博士点基金项目(20113218110018);南京航空航天大学研究生创新基金资助(kfjj20110226)
本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著...
关键词:模具 CVD金刚石 热沉 温度场 流场 
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