白利峰

作品数：1被引量：20H指数：1
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供职机构：兰州大学物理科学与技术学院等离子体与金属材料研究所更多>>
发文主题：X射线衍射晶体结构溅射法制备纳米金属直流磁控溅射更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：甘肃省自然科学基金更多>>
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纳米Cu_3N薄膜的制备与性能被引量：20
《物理学报》2005年第4期1687-1692,共6页吴志国 张伟伟 白利峰 王君 阎鹏勋 
甘肃省自然科学基金重点项目 (批准号 :ZS0 2 1 A2 5 0 2 2 C)资助的课题~~
采用柱状靶多弧直流磁控溅射法 ,10 0℃基底温度下在玻璃衬底上制备了纳米氮化铜 (Cu3N)薄膜 .用x射线衍射研究了不同氮气分压对Cu3N薄膜晶体结构及晶粒尺寸的影响 .结果显示薄膜由Cu3N和Cu的纳米微晶复合而成 ,其中Cu3N纳米微晶具有立...
关键词：纳米Cu3N薄膜 柱状靶多弧直流磁控溅射法 X射线衍射 晶体结构 氮气分压 
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