张伟伟

作品数：5被引量：42H指数：4
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供职机构：兰州大学更多>>
发文主题：TIN薄膜室温条件TINX射线衍射晶体结构更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学机械工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《中国有色金属学报》《摩擦学学报（中英文）》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金甘肃省自然科学基金教育部“优秀青年教师资助计划”更多>>
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纳米Cu_3N薄膜的制备与性能被引量：20
《物理学报》2005年第4期1687-1692,共6页吴志国 张伟伟 白利峰 王君 阎鹏勋 
甘肃省自然科学基金重点项目 (批准号 :ZS0 2 1 A2 5 0 2 2 C)资助的课题~~
采用柱状靶多弧直流磁控溅射法 ,10 0℃基底温度下在玻璃衬底上制备了纳米氮化铜 (Cu3N)薄膜 .用x射线衍射研究了不同氮气分压对Cu3N薄膜晶体结构及晶粒尺寸的影响 .结果显示薄膜由Cu3N和Cu的纳米微晶复合而成 ,其中Cu3N纳米微晶具有立...
关键词：纳米Cu3N薄膜 柱状靶多弧直流磁控溅射法 X射线衍射 晶体结构 氮气分压 
多弧镀及磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜的摩擦学性能对比被引量：12
《摩擦学学报》2004年第6期498-502,共5页张玉娟 吴志国 张伟伟 阎鹏勋 刘维民 薛群基 
国家自然科学基金资助项目(10074022).
分别采用多弧离子镀(MAIP)和带有平面"S"形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FCAP)在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜;采用往复式球-盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性能;采用扫描电子显微镜观察和分析了薄膜磨斑表面形貌及其元素面分布....
关键词：磁过滤等离子体沉积 多弧离子镀 氮化钛薄膜 摩擦学性能 
磁过滤等离子体制备TiN薄膜中沉积条件对薄膜织构的影响被引量：5
《中国有色金属学报》2004年第8期1264-1268,共5页张玉娟 吴志国 张伟伟 李鑫 阎鹏勋 刘维民 薛群基 
国家自然科学基金资助项目(10074022)
在室温条件下,利用自行设计的平面"S"形磁过滤等离子体设备,在(111)面单晶硅上制备TiN薄膜,通过改变基底偏压和反应气体成分,即通过改变氮气和氩气的气体流量来改变沉积离子的能量和密度,从离子轰击的角度研究了沉积条件对TiN薄膜织构...
关键词：氮化钛 磁过滤等离子体 薄膜织构 
纳米结构TiN薄膜的制备与性能研究被引量：3
《人工晶体学报》2004年第6期974-977,共4页闫鹏勋 吴志国 徐建伟 张玉娟 李鑫 张伟伟 
国家自然科学基金资助 (No .1 0 0 740 2 2 )
利用自行研制的磁过滤等离子体设备 ,在室温条件下的不锈钢基底上成功地制备了性能良好的纳米结构TiN薄膜。运用原子力显微镜和X射线衍射仪对其结构和形貌进行了表征。利用纳米硬度仪测量了TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果显示 :沉积的Ti...
关键词：TIN薄膜 不锈钢基底 结构和性能 纳米结构 室温条件 等离子体 表征 制备 性能研究 自行研制 
在室温条件下制备高质量纳米结构TiN薄膜研究被引量：4
《无机材料学报》2004年第6期1386-1390,共5页闫鹏勋 吴志国 徐建伟 张玉娟 张伟伟 刘伟民 
国家自然科学基金(10074022);教育部优秀青年教师资助计划
在室温条件下,利用磁过滤等离子体在单晶硅和不锈钢表面上制备了性能优异的纳米结构TiN薄膜.运用原子力显微镜和掠角入射X射线衍射仪对其结构与形貌进行了表征,利用纳米压痕仪测量了TiN薄膜的硬度和弹性模量.结果表明:TiN薄膜表面光滑,...
关键词：TIN 磁过滤等离子体 纳米薄膜 
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