雒哲廷

作品数：1被引量：3H指数：1
导出分析报告
供职机构：太原科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：NDFEB永磁ND2FE14B靶材溅射电子技术更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》更多>>
所获基金：山西省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
NdFeB永磁靶材溅射模拟被引量：3
《电子元件与材料》2008年第6期61-64,共4页雒哲廷 张敏刚 伍静 罗春云 
山西省自然科学基金资助项目(No.20021067)
运用SRIM2006软件对Nd2Fe14B靶溅射过程进行了模拟，并就入射离子的入射能量和角度进行了分析，得到溅射产额与入射离子能量、入射角度以及溅射靶材的一般规律：1）溅射产额随着入射离子能量的增加而增加，在低能量区域增加很快，到了...
关键词：电子技术 Nd2Fe14B永磁靶 溅射 模拟 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部