魏琴琴

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：山东师范大学物理与电子科学学院物理系更多>>
发文主题：GAN半导体合成工艺更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
管式电炉合成氮化镓晶粒的研究
《微纳电子技术》2003年第11期27-29,共3页黄萍 薛成山 李秀琴 魏琴琴 
以Ga2O3为Ga源,氨气(NH3)为N源,通过氮化反应合成了高质量的GaN晶粒。用XRD,FTIR和TEM对生成产物的组分、结构进行了研究。结果表明,用管式电炉合成的GaN为多晶体,属六方晶系。
关键词：管式电炉 氮化镓晶粒 合成工艺 GAN 半导体 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部