俞友明

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：苏州大学文正学院更多>>
发文主题：硅片工作气压混合气体单晶硅太阳能电池单晶硅更多>>
发文领域：理学电气工程更多>>
发文期刊：《苏州大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：苏州市科技计划项目国家自然科学基金国家大学生创新性实验计划更多>>
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厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响被引量：2
《苏州大学学报（自然科学版）》2012年第2期54-58,共5页王岩岩 吴明智 俞友明 王飞 吴雪梅 诸葛兰剑 
国家自然科学基金(10575073);苏州市科技计划项目(SYJG0901);苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划项目(5731500910);青蓝工程
室温下,采用射频磁控溅射法在单晶硅及石英片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,所用靶材为掺杂Al2 O3的ZnO多晶烧结靶,其中Al2 O3所占质量百分数为2%,分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、霍尔效应测试系统和紫外可见分光光度计来研究不同...
关键词：AZO 磁控溅射 膜厚 
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