刘佳

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：兰州大学信息科学与工程学院更多>>
发文主题：大数值孔径离轴照明相移掩模更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电工程》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
《光电工程》2008年第1期40-44,共5页刘佳 张晓萍 
教育部新世纪优秀人才支持计划(NECT-04-0981)
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该...
关键词：超大数值孔径 相移掩模 离轴照明 阴影效应 傅里叶衍射理论 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部