刘尧平

作品数:2被引量:1H指数:1
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供职机构:中国科学院物理研究所更多>>
发文主题:硅片太阳能电池倒金字塔光电子器件更多>>
发文领域:电子电信电气工程经济管理理学更多>>
发文期刊:《物理学报》更多>>
所获基金:江苏省科技成果转化专项资金国家自然科学基金更多>>
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不同硅晶面指数上的类倒金字塔结构研究与分析被引量:1
《物理学报》2018年第22期376-384,共9页陈全胜 刘尧平 陈伟 赵燕 吴俊桃 王燕 杜小龙 
国家自然科学基金(批准号:11675280,11674405); 江苏省科技成果转化项目(批准号:BA2017137)资助的课题
晶体硅作为一种重要的半导体材料,在集成电路、太阳能电池等方面具有广泛的应用.基于各向异性的刻蚀方法,不同晶面指数的硅都可以在表面形成由{111}晶面族组成的正/倒金字塔.本文基于{111}晶面族与(abc)晶面相交构成类倒金字塔结构的特...
关键词:硅的晶面检测 硅的晶面指数 类倒金字塔 
湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响
《物理学报》2009年第1期309-314,共6页崔秀芝 张天冲 梅增霞 刘章龙 刘尧平 郭阳 苏希玉 薛其坤 杜小龙 
国家科学基金(批准号:50532090,60606023和10604007);国家科技部(批准号:2007CB936203);中国科学院资助的课题~~
利用射频等离子体辅助分子束外延法,在刻有周期性孔点阵结构的Si衬底上生长了ZnO二维周期结构薄膜,系统研究了湿法化学刻蚀对孔形点阵Si(100),Si(111)基片表面形貌的影响,以及两种初底上ZnO外延薄膜的结晶质量与周期形貌的差异.X射线衍...
关键词:ZNO 分子束外延 Si 湿法刻蚀 
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