孙亮

作品数：2被引量：7H指数：1
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大面积平面工艺Si带电粒子探测器研制被引量：1
《核电子学与探测技术》2009年第2期466-469,共4页张万昌 孙亮 黄小健 刘洋 陈国柱 
叙述了用平面工艺技术制备大面积Si带电粒子探测器的工艺方法。为了减小探测器的漏电流,采用了表面钝化技术。文章分别给出了厚度300μm、灵敏区直径20mm以及厚度500μm、灵敏区直径40mm探测器在室温下漏电流测量结果,以及探测器在室温...
关键词：平面工艺技术 大面积Si带电粒子探测器 能量分辨率 
平面工艺Si-PIN低能X射线探测器研制被引量：6
《核电子学与探测技术》2009年第1期227-229,共3页张万昌 何高魁 黄小健 乌如恭桑 孙亮 
叙述了用平面工艺技术制备Si-PIN低能X射线探测器的工艺方法。为了减小探测器的漏电流,采用了表面钝化和保护环技术。文章给出了厚度500μm,灵敏面积分别为5 mm2、10mm2的不同探测器在室温下漏电流测量结果以及5mm2的探测器在室温及温...
关键词：平面工艺技术 SI-PIN探测器 能量分辨率 
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