成照宇

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供职机构：华中科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：气敏性薄膜形貌形貌基片温度膜形貌更多>>
发文领域：理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《材料导报》更多>>
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颗粒锡膜形貌与氧压及基片温度的相关性
《材料导报》2011年第12期103-105,共3页成照宇 刘向东 
国家自然科学基金资助项目(10774052)
利用电阻式真空蒸镀系统制备出了颗粒锡膜,并通过场发射电子显微镜(FSEM)对其生长进行了表征。研究发现,锡膜的表面形貌与氧压及基片温度强烈相关。随着氧压升高,锡膜颗粒粒径减小,形状趋于规则;随着基片温度升高,锡膜颗粒趋于规则,粒...
关键词：真空沉积 颗粒锡膜 FSEM 气敏性 
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