朱丹峰

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用于EBIT装置的小型MEVVA源及其离子注入实验
《核技术》2008年第2期100-104,共5页朱丹峰 杜光天 郭盘林 朱周侠 朱希恺 傅云清 胡伟 邹亚明 
为给上海电子束离子阱（Electron Beam Ion Traps，EBIT）装置提供低电荷离子，我们研制了小型金属蒸汽真空弧（Metal Vapor Vacuum Arc，MEVVA）离子源，可产生多种金属以及半导体材料的低电荷离子。本文介绍小型MEVVA离子源的特性及...
关键词：MEVVA离子源 电子束离子阱 离子注入 
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