李琳

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：昆明物理研究所更多>>
发文主题：X射线衍射PZT快速退火锆钛酸铅铁电薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
所获基金：云南省自然科学基金更多>>
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快速退火对PZT铁电薄膜结构的影响被引量：4
《人工晶体学报》2006年第2期415-419,共5页李振豪 王忠华 李琳 普朝光 杨培志 
云南省自然科学基金重点项目(No.2002C0008Z)资助
采用射频磁控溅射方法在Pt/Ti/S iO2/S i衬底上制备出(PZT)铁电薄膜,在550℃、600℃、650℃、700℃几个温度下对薄膜进行了快速退火热处理,并在退火处理后用X射线衍射、原子力显微镜和热释电系数测试系统研究了PZT铁电薄膜的薄膜结构、...
关键词：锆钛酸铅 铁电薄膜 快速退火 X射线衍射 原子力显微镜 
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