李盛姬

作品数：5被引量：40H指数：3
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发文主题：电子气体氟化工含氟分离纯化膜分离更多>>
发文领域：化学工程环境科学与工程更多>>
发文期刊：《有机氟工业》《浙江化工》《低温与特气》更多>>
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含氟电子气体研究进展被引量：19
《低温与特气》2013年第1期1-5,共5页李盛姬 黄雪静 齐海 张建君 
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂。综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考。
关键词：电子气体 清洗剂 氟化工 半导体 
电子级含氟气体制备技术研究进展被引量：12
《有机氟工业》2012年第3期38-41,共4页李盛姬 柳彩波 刘武灿 张建君 
电子气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。电子气体的纯度朝高纯的方向发展是电子气体产业的一个必然方向,这就要求电子气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求,...
关键词：半导体工业 电子气体 吸附 分离纯化 应用研究 
Aspen Plus模拟在氟化工中的应用研究被引量：8
《有机氟工业》2011年第2期36-40,共5页李盛姬 田端正 吴江平 张建君 
Aspen Plus是生产装置设计、稳态模拟和优化的大型通用流程模拟系统。全球各大化工、石化、炼油等过程工业制造企业及著名的工程公司都是Aspen Plus的用户。举例介绍了Aspen Plus模拟在氟化工中的应用,分析可能存在的困难,并展望Aspen P...
关键词：ASPEN PLUS 过程模拟 氟化工 应用 
分离纯化技术在有机氟精细化学品中的应用研究进展被引量：2
《有机氟工业》2010年第4期33-38,共6页李盛姬 田端正 潘明翔 李大刚 吴江平 
综述了在有机氟精细化学品中应用较多的分离纯化技术,包括萃取精馏、变压精馏、亚沸精馏、吸附、化学氧化、光氯化、化学吸收等,同时着重介绍一种新兴的分离技术———膜分离技术及其目前在国内外有机氟精细化学品中的应用研究以供同仁...
关键词：分离纯化 有机氟 精细化学品 膜分离 应用研究 
有机氟化工中的特种分离技术被引量：1
《浙江化工》2010年第10期1-6,共6页田端正 王桃燕 吴江平 欧阳旭 李盛姬 
主要概述了有机氟化工中的几种特种分离技术,包括:吸附、萃取精馏、变压精馏、亚沸精馏、膜分离等。同时,列举了这些分离技术在有机氟化工中的应用实例。
关键词：分离 有机氟 精馏 膜分离 
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