杨锡林

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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：性能研究衬底LUZNOSRTIO3更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
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在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究
《人工晶体学报》2007年第1期106-109,共4页杨锡林 张连翰 邹军 何晓明 宋词 周圣明 杭寅 
国家自然科学基金项目(No.60478023);国家自然科学重点基金(No.50532100)
用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜。样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长。X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FW...
关键词：PLD 紫外发射 ZNO薄膜 SRTIO3 
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