林崴

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背面引线压力/氢离子敏传感器的研究
《应用科学学报》1995年第3期359-362,共4页牛蒙年 林崴  
报道了一种含微参比电极的差分结构,并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应(pH-ISFET)新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规N阱MOS工艺,研制成集成压力/pH-ISF...
关键词:背面引线 压力敏 传感器 氢离子敏 
pH-ISFET传感器及其测量方法研究
《固体电子学研究与进展》1995年第1期50-54,共5页牛蒙年 袁璟 林崴 
在对pH-ISFET传感器参数及其输出特性分析的基础上,讨论了四种测量pH-ISFET传感器的模式和适用条件,以及实现差分测量的简单方法。在ISFET/REFET差分对结构测量中,以金膜作为辅助电极取代传统的甘汞参考...
关键词:PH-ISFET 传感器 测量方法 差分电路 ISFET/REFE 
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