王文平

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DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
《河北工业科技》1989年第1期29-33,共5页王文平 刘永强 罗培成 王彦池 
本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
关键词：自动对准系统 最短时间控制 动态规划 
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