刘永强

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供职机构：河北机电学院自动化工程系更多>>
发文主题：超高压汞灯LQ光强光刻机动态规划更多>>
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超高压汞灯的自校正调节方案研究
《河北工业科技》1989年第1期24-28,共5页刘永强 罗培成 王彦池 黄笑梅 
本文对最小方差自校正调节器在超高压汞灯控制中的应用做了研究。结果表明,这种应用有较显著的优点,其光强控制精度可达0<0.2%。
关键词：自校正调节器 LQ 估计 等待系统 光强调节系统 超高压汞灯 
DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
《河北工业科技》1989年第1期29-33,共5页王文平 刘永强 罗培成 王彦池 
本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
关键词：自动对准系统 最短时间控制 动态规划 
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