谢强

作品数：1被引量：20H指数：1
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供职机构：武汉大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：TIO_2薄膜TIO2薄膜二氧化钛薄膜结构特性结构和光学性质更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《武汉大学学报（理学版）》更多>>
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TiO_2薄膜的结构和光学性质的研究被引量：20
《武汉大学学报（理学版）》2002年第5期593-596,共4页谢强 王取泉 魏正和 周正国 
国家自然科学基金资助项目 (5 98710 3 3 )
以金属钛为靶材 ,用反应射频溅射法制备了TiO2 薄膜 ,并在 6 0 0～ 90 0℃下进行了热处理 .经XRD测量 ,在 6 0 0～ 80 0℃下TiO2 薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态 ,在 90 0℃下TiO2 薄膜为纯金红石结构 .研究TiO2薄膜的SEM照片和U...
关键词：TIO2薄膜 结构特性 光学性质 二氧化钛薄膜 反应射频溅射法 微观形貌 折射率 
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