赵阳

作品数：3被引量：15H指数：3
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：纳米多层膜ZRNTIN调制结构力学性能更多>>
发文领域：理学一般工业技术环境科学与工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》《金属学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金辽宁省教育厅基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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界面和择优取向对TiN/ZrN纳米多层膜硬度变化的影响被引量：5
《物理学报》2006年第10期5380-5385,共6页徐晓明 王娟 赵阳 张庆瑜 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金(批准号:10476003)资助的课题.~~
利用射频反应磁控溅射方法,制备了调制比约为4,调制周期不同的一系列TiN/ZrN纳米多层膜.利用X射线衍射仪(XRD)、高分辨电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪(Nanoindentation)对多层膜的调制结构、界面状态和力学性能进行了表征.研究结果表明T...
关键词：TiN/ZrN多层膜 界面宽度 择优取向 硬度变化 
调制结构对TiN／TaN多层膜的生长行为及力学性能的影响被引量：4
《金属学报》2006年第4期389-393,共5页赵阳 王娟 徐晓明 张庆瑜 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金资助项目10476003
利用反应磁控溅射方法,制备了调制周期相同而调制比不同的TiN／TaN多层膜．利用XRD,HRTEM和纳米压痕仪分别对多层膜的结构、微观状态和力学性能进行了系统研究．结果表明:调制结构不仅改变多层膜的生长速率,而且能导致多层膜择优生长取...
关键词：TiN/TaN多层膜 生长行为 结构特征 力学特性 
调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响被引量：6
《真空科学与技术学报》2006年第z1期23-27,31,共6页徐晓明 辛萍 王娟 赵阳 张庆瑜 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金资助项目(No.10476003)
利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表明:调制结构影响着薄膜的择优生长取向、...
关键词：TiN/ZrN多层膜 表面形貌 生长行为 力学性能 
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