边惠

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供职机构：温州大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：SIO2干凝胶拉曼散射多孔薄膜纳米硅更多>>
发文领域：电气工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《中国科学：物理学、力学、天文学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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低k介质多孔SiO_2干凝胶薄膜的温度效应研究
《电子元件与材料》2013年第8期26-28,共3页边惠 万里 
国家自然科学基金资助项目(No.60807002)
采用正硅酸乙酯(TEOS)作为Si源,利用溶胶–凝胶旋涂法制备了多孔SiO2干凝胶薄膜,测试分析了200,300和400℃退火后样品的不同特性。研究了退火温度对多孔SiO2干凝胶低k薄膜的化学性质、物理性质和电学性能的影响。结果表明在400℃的退火...
关键词：低介电常数 干凝胶 夹层介质 温度效应 多孔薄膜 泄漏电流 
表面粗糙化来提高SiO2中纳米硅的拉曼强度
《中国科学：物理学、力学、天文学》2011年第7期845-849,共5页张有为 毕大炜 公祥南 边惠 万里 唐东升 
国家自然科学基金(批准号:60807002);低维量子结构与调控教育部重点实验室(湖南师范大学)开放课题基金资助(编号:QSQC1008)资助项目
本文采用表面粗糙化的方法,在拉曼背散射配置下观察到SiO2中注入硅离子形成纳米硅的拉曼散射特征峰.运用声子限制模型对纳米硅的特征峰进行曲线拟合,得到纳米硅的平均晶粒尺寸是2.6nm.这个结果与透射电子显微镜直接观测的纳米硅尺寸非...
关键词：纳米硅 拉曼散射 声子限制 
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