钱淑冰

作品数：1被引量：2H指数：1
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有机聚合物光波导的端面处理研究被引量：2
《光电子技术》2007年第4期228-230,234,共4页钱淑冰 胡国华 恽斌峰 崔一平 
教育部科学技术研究重点项目资助(104196)
主要研究如何在不损伤聚合物的前提下,实现聚合物波导的端面处理,即对端面的研磨和抛光。由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别,除了要选择好特定的抛光材料以外,在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间:速度过快会造成硅片"塌边"和...
关键词：光集成器件 聚合物光波导 封装 抛光 
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