聚合物光波导

作品数：50被引量：84H指数：5
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相关期刊：《微细加工技术》《电子科技文摘》《三门峡职业技术学院学报》《激光与光电子学进展》更多>>
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低损耗聚合物光波导反应离子刻蚀工艺的研究
《三门峡职业技术学院学报》2024年第2期134-140,共7页郭琦 尤向阳 
反应离子刻蚀是聚合物光波导制备过程中的一项关键工艺。通过改变射频功率RF、反应腔室压强以及混合气体组成与配比等参数研究对波导刻蚀的影响因素,利用台阶仪、金相显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观测波导形貌,找到了表面毛糙度小、侧...
关键词：RIE刻蚀 聚合物光波导 毛糙度 刻蚀速率 
板级光电互联技术发展现状与趋势被引量：1
《激光与光电子学进展》2024年第7期86-98,共13页杜耀辉 侯霞 
国家自然科学基金(22X0152601)。
光电互联技术在光电通信、光电导航等军事领域,高性能处理器以及民用通信等领域有着独特的优势。对于目前高性能计算和高速率通信系统中,无论是板到板还是板内各模块之间的链路,对更高带宽的需求持续增加,光电互联可代替传统电互联解决...
关键词：光电子 光电互联 聚合物光波导光电互联 光纤光电互联 光电印刷电路板 
涂覆高折射率树脂薄膜的聚合物波导传感器的制备
《光学仪器》2022年第6期80-86,共7页徐莹莹 蔡斌 
上海市自然科学基金(20ZR437400)。
倏逝波的强弱决定了波导型倏逝波传感器的探测极限。在波导表面涂覆一层高折射率树脂薄膜,提高光波导外倏逝波的占比。高折射率薄膜的涂覆可以大幅度改变波导中的光场分布,并提高倏逝波强度。通过研究不同折射率下倏逝波占比与镀膜厚度...
关键词：倏逝波传感 聚合物光波导 高折射率树脂薄膜 仿真 
高折射率镀膜聚合物波导传感器的制备被引量：1
《光学仪器》2022年第1期87-94,共8页谭冰 蔡斌 
上海市自然科学基金会面上项目(20ZR437400)。
为了提高利用倏逝波传感的光纤传感器的灵敏度问题,仿真并验证了一种基于高折射率镀膜的光纤传感器。首先两根光纤之间利用激光诱导波导自行成技术形成聚合物波导,并在波导表面镀上一层高折射率Ta_(2)O_(5)薄膜以增强波导表面倏逝波强度...
关键词：Ta_(2)O_(5)镀膜 COMSOL Multiphysics■ 聚合物光波导 倏逝波传感 
基于LED泵浦的聚合物光波导吸收特性被引量：4
《中国激光》2021年第20期106-113,共8页薛家璧 赖寿强 刘欣 张丹 
国家自然科学基金(61875170,61107023);厦门大学校长基金(20720150086)。
对不同波段LED激发下,聚合物SU-8/聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光波导进行了光吸收性能的研究。在中心波长为310,365,405,525 nm LED以及808 nm激光器的泵浦下,研究了聚合物SU-8/PMMA光波导对1064,980,635 nm信号光的吸收性能。实验结果表明...
关键词：集成光学 聚合物SU-8 聚甲基丙烯酸甲酯 光波导 LED泵浦 光衰减 
热熔处理聚合物光互连波导传输损耗特性
《光通信技术》2019年第4期42-45,共4页吕艳华 刘奂奂 庞拂飞 
印刷光互连背板技术是解决未来大尺寸、高速板上数据互连的重要方案,在超宽带光通信、大型数据中心和超级计算机等领域具有广阔应用前景。针对互连背板上聚合物光波导低损耗传输的关键问题,提出基于热熔工艺的光波导处理技术以降低其光...
关键词：热熔处理 光互连 聚合物光波导 
聚合物波导光栅耦合器的衍射场仿真（英文）被引量：1
《红外与激光工程》2019年第4期279-284,共6页吴少强 冯向华 卫正统 吴天昊 
国家自然科学基金(61605249);河南省科技计划(152102210012)
为了实现横截面尺寸为50μm×50μm的聚硅氧烷聚合物光波导的耦合转向问题,设计了一种表面覆盖高折射率包层的多层蚀刻光栅耦合器。首先,分析了影响聚合物波导光栅耦合器耦合效率的结构因素;然后,采用在光栅表面蚀刻高折射率层的方法,...
关键词：光互连 光栅耦合器 时域有限差分法 聚硅氧烷聚合物光波导 耦合效率 
聚合物光波导45°反射面形成工艺研究被引量：1
《电子工艺技术》2018年第5期265-268,共4页赵飞 陈雨 肖垣明 卢立东 
国防科工局预研基金项目(项目编号:HX165240001)
为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用。基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程。针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得...
关键词：光波导 45°反射面 互连 前处理 光刻 传输损耗 
一种基于MZI的聚合物光波导加速度计
《电子器件》2017年第3期521-524,共4页万峰华 胡威 张彤 
教育部博士点基金项目(20110092110016;20130092120024);教育部微惯性仪表与先进导航技术重点实验室开放基金项目(201402);国家自然科学基金青年基金项目(61307066);江苏省自然科学基金青年基金项目(BK20130630);江苏省高校品牌专业建设工程资助项目
提出了一种基于马赫增德尔干涉仪(MZI)的聚合物光学波导加速度计。理论推导了MZI结构的传输函数,仿真分析了悬臂梁结构参数与器件灵敏度的关系,制备得到了4μm×4μm单模传输芯层波导的传感芯片。搭建了集成光学加速度测试系统,采用比...
关键词：光学传感器 加速度 MZI(Mach-Zehnder interferometer) 聚合物材料 
有机聚合物光波导的研究进展
《激光与光电子学进展》2017年第5期58-71,共14页侯有军 
与无机半导体光波导相比,有机聚合物光波导具有易于加工和方便集成的明显优势。总结了有机聚合物光波导的研究现状,包括聚合物光波导材料的分类和制备。重点总结了聚合物平面波导和聚合物微结构光纤波导的应用现状。对聚合物光波导的前...
关键词：集成光学 聚合物光波导 聚合物微结构光纤 聚合物平面波导 光学集成器件 
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