肖垣明

作品数：4被引量：11H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第五十四研究所更多>>
发文主题：光刻反射面工艺性衍射掩模版更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《新技术新工艺》《半导体技术》《电子工艺技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
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光波导平整度优化工艺被引量：1
《电子工艺技术》2018年第6期322-324,335,共4页赵飞 庄治学 陈雨 肖垣明 张莹 
国防科工局预研基金项目(项目编号:HX165240001)
为推进光传输器件的实用化,提升聚合物光波导传输特性,梳理了聚合物光波导的工艺流程。分析了影响光波导传输特性的平整度问题,通过基板覆铜及研磨抛光、基板附着力增强、光波导旋涂控制和光波导曝光控制等关键技术的突破,解决了基板平...
关键词：光波导 平整度 附着力 光刻 
一种带有二阶温度补偿的带隙基准电压源被引量：7
《半导体技术》2018年第12期888-892,904,共6页肖垣明 王慧 刘晨 杨需哲 
国家自然科学基金资助项目(61771363);国防基础预研项目(JCKY2016210B009)
设计了一种带有二阶温度补偿的高精度带隙基准电压源电路。相比传统带隙基准电路,所设计的电路不仅进行了一阶温度补偿,在高温阶段增加了与一阶温度补偿基准电压的温度系数呈负相关的曲率补偿电流,通过电阻将补偿电压叠加到经过一阶补...
关键词：带隙基准 二阶温度补偿 曲率补偿 温度系数 电源抑制比(PSRR) 
聚合物光波导45°反射面形成工艺研究被引量：1
《电子工艺技术》2018年第5期265-268,共4页赵飞 陈雨 肖垣明 卢立东 
国防科工局预研基金项目(项目编号:HX165240001)
为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用。基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程。针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得...
关键词：光波导 45°反射面 互连 前处理 光刻 传输损耗 
电子钣金件结构工艺性研究被引量：2
《新技术新工艺》2005年第5期32-35,共4页肖垣明 
电子设备中许多结构零件是采用金属薄板制成的钣金件,其加工工艺性对电子产品的质量很重要,因此,在设计中要十分注意钣金件的结构工艺性,对此进行了详细的分析和讨论。
关键词：工艺性 弯曲 冲裁 焊接 
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