陈晓梅

作品数：4被引量：12H指数：2
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供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文主题：LIGA技术LIGA微齿轮电磁型微马达微机械技术更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术核科学技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《中国机械工程》《机械设计与研究》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金更多>>
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柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺被引量：2
《仪表技术与传感器》2005年第12期10-12,共3页苏宇锋 陈文元 陈晓梅 张卫平 王伟 
教育部博士点基金(20010248001)
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工...
关键词：PARYLENE 制作工艺 柔性膜微型电磁驱动器 NiFe合金阵列 
动态被动阀微泵的设计优化和制造被引量：2
《机械设计与研究》2003年第2期64-66,共3页张卫平 陈文元 吴校生 陈晓梅 徐正福 
中国高等教育博士点基金资助项目 ( 2 0 0 10 2 480 0 1)
研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理...
关键词：动态被动阀微泵 优化设计 制造 微机械技术 
基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造被引量：7
《中国机械工程》2003年第5期374-376,共3页张卫平 陈文元 陈迪 吴校生 陈晓梅 徐正福 
使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复...
关键词：设计 制造 3K-2型微行星齿轮减速器 微齿轮 LIGA 电磁型微马达 
生物大分子晶体学光束线准直镜、聚焦镜系统的设计被引量：1
《机械设计与研究》2002年第5期68-69,共2页张卫平 陈文元 吴校生 陈晓梅 盛伟繁 刘鹏 胡天斗 
同步辐射是生物大分子研究中所使用的重要方法 ,本文讨论的准直镜和聚焦镜系统是生物大分子光束线中的重要装置 ,其作用是改变X射线的方向并使其聚焦。生物大分子试验对准直、聚焦系统提出了特殊的要求。为此 ,本文使用了有限元的方法 ...
关键词：生物大分子 晶体学 同步辐射 准直 聚焦 有限元 
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