何龙珠

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：CMOS集成电路硅材料集成电路CMOS硅更多>>
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CMOS集成电路用Φ150—200mm外延硅材料被引量：2
《Journal of Semiconductors》2001年第12期1538-1542,共5页王启元 林兰英 何自强 龚义元 蔡田海 郁元桓 何龙珠 高秀峰 王建华 邓惠芳 
"九五"国家重点科技攻关计划资助项目~~
报道了 Φ15 0 m m CMOS硅外延材料的研究开发及集成电路应用成果 ,对 Φ2 0 0 mm P/P-硅外延材料进行了初步探索研究 .Φ15 0 m m P/P+硅外延片实现了批量生产 ,并成功应用于集成电路生产线 ,芯片成品率大于 80 % .
关键词：硅 外延生长 CMOS 集成电路 
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