冯昌浩

作品数：1被引量：1H指数：1
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基于MEMS技术研制RF硅基微电感线圈被引量：1
《黑龙江大学工程学报》2010年第4期78-83,共6页温殿忠 潘择群 杨子江 张海燕 冯昌浩 
国家自然科学基金资助项目(60676044);黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室项目(DZZD20100024)
在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。设计了硅基电感的版图尺寸和相关...
关键词：MEMS 浓硼扩散区 内引线 激光打孔 硅基微电感 
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