宋孝勇

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发文主题：微结构阻尼比谐振频率微机电系统固有频率更多>>
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微结构振动特性的自由衰减测试方法
《天津大学学报》2006年第3期338-342,共5页胡晓东 宋孝勇 栗大超 傅星 胡小唐 
国家863计划MEMS重大专项资助项目(2004AA404042)天津市重大科技资助项目(043185911).
为准确快速地对微结构的谐振频率和阻尼比进行测试和分析,组建了以激光多普勒测振仪为核心的微结构瞬态离面运动特性测试系统．附有压电驱动的微悬臂梁和微振动薄膜在斜波脉冲激励信号作用下产生自由衰减振动,通过激光多普勒测振仪将瞬...
关键词：微机电系统 振动特性 自由衰减 谐振频率 阻尼比 
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