张玮光

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：南开大学信息技术科学学院机器人与信息自动化研究所更多>>
发文主题：编程语言机器人语言微操作机器人测量方法MEMS更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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基于显微图像处理的MEMS运动测量方法被引量：3
《纳米技术与精密工程》2012年第1期1-5,共5页赵新 郭春艳 张玮光 孙明竹 卢桂章 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA043703);国家自然科学基金资助项目(60875059;91023045)
为实现对MEMS的高精度运动测量,采用了基于显微图像处理的运动测量方法.在该方法中,针对特定的MEMS器件,首先将其放置在显微镜下摄取其可动部位的运动录像,由运动录像获取显微图像序列;然后针对MEMS自身结构的特点,设计有效的显微图像...
关键词：MEMS 亚像素 运动测量 
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