文良栋

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：移动信号成像方法锁存扫描图像扫描电子显微镜更多>>
发文领域：电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《振动．测试与诊断》更多>>
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压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用被引量：1
《振动．测试与诊断》2013年第S2期52-54,218,共4页刘俊标 殷伯华 文良栋 方光荣 韩立 
国家自然科学基金资助项目(51375470)
为了满足在毫米量级范围内以低成本的电子束直写技术制作纳米器件和微纳米结构的需求,提出了一种基于压电陶瓷直线电机驱动的高精度二维精密工件台设计结构。该精密工件台采用精密交叉滚柱导轨,共有3层结构,采用20nm测量分辨率的光栅尺...
关键词：电子束直写技术 压电直线电机 精密工件台 光栅测量 
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