曹轲

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：长春理工大学理学院更多>>
发文主题：NM光电成像极紫外激光等离子体单色仪更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
所获基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目更多>>
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17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究被引量：3
《光学精密工程》2005年第2期225-230,共6页薛玲玲 陈波 尼启良 张华 曹轲 张玲 
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新基金支持
设计了17.1 nm波段光电成像系统,用于对波长为17.1 nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分:光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd∶YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体,掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600 L/mm...
关键词：极紫外 激光等离子体 单色仪 微通道板 
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