曾凡林

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文主题：MEMS加速度计光电检测信号机械噪声电容检测更多>>
发文领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
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MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析被引量：4
《传感技术学报》2008年第5期785-790,共6页曾凡林 钟少龙 徐静 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目;微系统技术国家级重点实验室基金项目资助
在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27...
关键词：电容检测 光电检测 热机械噪声 电学噪声 
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