李恒

作品数：1被引量：9H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：锫PZT铁电薄膜PZT薄膜钛酸铅湿法刻蚀更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《压电与声光》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金更多>>
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PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究被引量：9
《压电与声光》2005年第2期209-212,共4页郑可炉 褚家如 鲁健 李恒 
教育部博士点基金(20030358018);优秀青年教师资助计划项目
介绍了一种刻蚀效果良好的PZT薄膜的湿法刻蚀方法。在分析了刻蚀液成分对刻蚀效果影响的基础上,选择体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,刻蚀速率为0.016μm/s。实验表明,刻蚀得到的PZT薄膜图形表面无残留物,侧蚀比小...
关键词：锫钛酸铅PZT薄膜 湿法刻蚀 微图形化 
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