鲁健

作品数：12被引量：49H指数：4
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：PZT铁电薄膜铁电薄膜微机电系统功能陶瓷材料锆钛酸铅更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《光学精密工程》《微细加工技术》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金教育部“优秀青年教师资助计划”中国科学院“百人计划”更多>>
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铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置
《科技开发动态》2005年第4期35-35,共1页褚家如 李磊 鲁健 
该铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置是一种铁电功能陶瓷材料的测试装置，尤其适用于锆钛酸铅(IYZT)铁电薄膜材料介电性能的测试。
关键词：铁电薄膜材料 自动测试装置 介电性能 多频率 功能陶瓷材料 锆钛酸铅 
基于数字调谐方法的微悬臂梁品质因数的研究
《纳米技术与精密工程》2005年第4期273-277,共5页朱龙洋 鲁健 吴亚雷 许晓慧 褚家如 
教育部博士点基金资助项目(20030358018)优秀青年教师资助计划项目.
品质因数(Q值)是影响微悬臂梁设备灵敏度的关键因素．针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数从181提高至871．实验表明,使用数...
关键词：品质因数 微悬臂梁 数字调谐 数字锁相 
基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究被引量：3
《光学精密工程》2005年第6期658-663,共6页许晓慧 鲁健 朱龙洋 褚家如 
教育部博士点基金(No.20030358018);优秀青年教师资助计划项目
应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的...
关键词：PZT铁电薄膜 激光多普勒技术 数字锁相 
PZT铁电薄膜介电性能的数字锁相测试技术被引量：3
《仪器仪表学报》2005年第4期331-335,339,共6页李磊 鲁健 褚家如 平志明 
教育部优秀青年教师资助计划;博士点基金项目资助
在DSP上实现的数字锁相测试系统,采用数字锁相算法来完成对信号的锁相测试。基于该系统开发出了简单、可靠、可调性好并具有较高精度的PZT铁电薄膜介电性能测试系统。实验表明,使用该系统测得的样品介电常数的相对误差小于1 %,能够满足...
关键词：PZT铁电薄膜 数字锁相 测试技术 介电性能 性能测试系统 微机电系统 锁相算法 系统开发 相对误差 介电常数 器件设计 制备技术 DSP 高精度 可调性 信号 
PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究被引量：9
《压电与声光》2005年第2期209-212,共4页郑可炉 褚家如 鲁健 李恒 
教育部博士点基金(20030358018);优秀青年教师资助计划项目
介绍了一种刻蚀效果良好的PZT薄膜的湿法刻蚀方法。在分析了刻蚀液成分对刻蚀效果影响的基础上,选择体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,刻蚀速率为0.016μm/s。实验表明,刻蚀得到的PZT薄膜图形表面无残留物,侧蚀比小...
关键词：锫钛酸铅PZT薄膜 湿法刻蚀 微图形化 
一种新型压电驱动微流体混合器被引量：5
《微细加工技术》2005年第2期55-62,共8页孙长敬 鲁健 褚家如 
教育部优秀青年教师资助计划项目;博士点科研基金资助项目(20030358018)
设计了一种新型的压电驱动微流体混合器(micromixer),采用计算流体力学(CFD)的方法对其性能进行了仿真研究。结果显示,该混合器可在很大程度上提高微量流体的混合效率,在雷诺数为16、悬臂梁振动频率为200Hz时,充分混合两微量流体仅需0.1...
关键词：压电悬臂梁 微流体混合器 仿真研究 
溶胶-电雾化系统雾滴速度场LDV测量的研究被引量：1
《微细加工技术》2004年第3期24-28,共5页鲁健 褚家如 秦俊 
中国科学院博士点基金资助项目(20030358018)
用基于多普勒频移和相位差原理的LDV(LaserDopplerVelocimeter)技术研究了溶胶-电雾化系统中荷电雾滴的轴向速度及其分布,并分析了雾滴在输运过程中的受力情况。结果表明,在电场力、重力、流体拖曳力等共同作用下,雾滴轴向速度在垂直于...
关键词：雾滴速度 LDV系统 溶胶-电雾化 PZT铁电薄膜 微机电系统 
溅射法制备高取向Pt薄膜的工艺研究被引量：6
《微细加工技术》2004年第1期41-46,共6页鲁健 吴建华 赵刚 王海 褚家如 
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。厚约50nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性。实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利...
关键词：Pt薄膜 射频磁控溅射工艺 PZT铁电薄膜 微机电系统 热处理工艺 
高取向PZT厚膜的0-3复合法制备被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期499-502,共4页陈超 褚家如 鲁健 杨艳 
采用 0 3复合法 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了单层厚度 0 .9μm ,总厚度 10 μm ,并且无裂纹的Pb(Zr0 .53,Ti0 .4 7)O3铁电薄膜。溶液中粉体的存在减小了加热时的体积收缩 ,降低了制备过程中膜内部产生的应力 ,从而使得单层厚度...
关键词：铁电材料 PZT厚膜 0-3复合法 Sol—Gel法 微机电系统 溶胶-凝胶法 
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