林率兵

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：阳极氧化铝RIE刻蚀工艺刻蚀圆片更多>>
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多层难熔金属的刻蚀工艺技术研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2005年第6期463-466,470,共5页段雪 邓建国 刘英坤 王书明 苏丽娟 韩东 林率兵 
分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性。研究了用下电极表层为阳极氧化铝的RIE完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属时氧化铝在Ar/SF6和Ar/CF4等离子体中对聚合作用的影响。通过实验发现,下电极表面的氧化铝经氩离子溅射会...
关键词：RIE 多层难熔金属 阳极氧化铝 聚合作用 
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