梁晓伟

作品数:2被引量:14H指数:2
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供职机构:西北工业大学更多>>
发文主题:微机电系统谐振频率沟道刻蚀离子更多>>
发文领域:电子电信机械工程更多>>
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所获基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
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基于李萨如扫描的微型激光投影显示技术被引量:6
《光学学报》2014年第6期130-135,共6页李晓莹 梁晓伟 乔大勇 刘耀波 潘春辉 练彬 
国家自然科学基金(50805123);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075);深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目(JCYJ20120614154203639)
结合李萨如图像扫描和微机电系统(MEMS)二维谐振式扫描镜,提出一种新颖的投影显示方法。相比于传统的投影显示技术,该技术具有控制简单、能耗低、体积小及重量轻等优点。首先阐述了该投影显示技术中像素的定义与划分,然后从理论上分析...
关键词:成像系统 微机电系统 李萨如 刷新率 分辨率 谐振频率 
一种新型静电驱动二维微型扫描镜的设计及模态被引量:8
《光学学报》2013年第6期291-296,共6页刘耀波 苑伟政 乔大勇 杨璇 梁晓伟 练彬 
国家自然科学基金(50805123);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075);深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划(JCYJ20120614154203639)资助课题
设计并加工制作了一种基于绝缘体上硅(SOI)制备工艺的新型静电驱动二维微型扫描镜,并对其工作原理进行了分析。为了有效预测该微型扫描镜的谐振频率及相应的振态,采用有限元分析软件ANSYS对其进行建模和前五阶模态的仿真,并从理论上分...
关键词:光学器件 绝缘体上硅 微型扫描镜 模态仿真 谐振频率 
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