云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王涛

王涛: 作品数：1被引量：6H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：南京大学更多>>; 发文主题：纳米硅氢化非晶硅电输运退火温度退火更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《物理学报》更多>>; 所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质被引量：6: 《物理学报》2009年第11期7878-7883,共6页宋超陈谷然徐骏王涛孙红程刘宇李伟陈坤基; 国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613401);国家自然科学基金(批准号:10874070);高等学校博士学科点专项基金(批准号:20070284020)资助的课题~~; 采用等离子体化学气相沉积技术制备氢化非晶硅薄膜,经过不同温度下的热退火处理,使薄膜由非晶结构向晶化结构转变,得到含有纳米晶粒的晶化硅薄膜.在晶化过程中,采用Raman技术对样品的结构进行表征.通过变温电导率的测试,对薄膜的电学输...; 关键词：氢化非晶硅退火纳米硅电输运